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国:
China
モデル番号:
M5111-4WP/UM
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連絡先担当者 Tina
Tongzipo West Road, Changsha National High-tech Industry Development Zone, Changsha, Hunan
The system adopts closed diffusion (cleaning diffusion). The SiC cantilever paddle retreats from quartz tube during the process. Pressure self-balancing system with independent intellectual property rights, quick re-warming system and unique gas feeding way are applied, protecting the process from ambient influences, hence improving the diffusion quality. The throughput is **0pcs/batch.
| 国: | China |
| モデル番号: | M5111-4WP/UM |
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