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製品仕様

タイトルまたは説明

Steel (SUS**0J2, wafer ring, square ring, semiconductor fixture)
4 inches, 5 inches, 6 inches, 8 inches, *2 inches
Product name: Wafer Frame
*6 inch outer diameter: **8mm inner diameter: Ф**4mm thickness 1.2mm
*8 inch outer diameter: **6mm inner diameter: **0mm thickness 1.2mm
*2 inch outer diameter: **0mm inner diameter: **0mm thickness 1.5mm
Note:1. Material: SUS**0J2
2. Surface treatment: Mechanical polishing: Bright surface Ra<0.*5um Matt surface Ra<0.3um
3. Hardness treatment [Harden]: HRC*0~*5
4. Tolerance [Tolerance]: 0.5mm
5. Angle tolerance [Angle]: 0°*0
6. Flatness tolerance [Flatness]: <0.2mm"

国: China
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